초미립자 제조는 크게 체질법과 고상법이 있다.

체질법을 이용하면 청정 초미립자 제조가 가능하다.

고상법은 균일한 초미립자 분체를 대량 생산하는 방법으로 우수하다.

초미립자의 크기는 100nm의 콜로이드(colloid) 입자의 크기와 같은 정도의 분체라 할 수 있다.