흄(fume)은 액체의 미세한 입자가 공기 중에 부유하고 있는 것을 말한다.

분진(dust)은 금속의 증기가 공기 중에서 응고되어 화학변화를 일으켜 고체의 미립자로 되어 공기 중에 부유하는 것을 말한다.

미스트(mist)는 기계적 작용에 의해 발생된 고체 미립자가 공기 중에 부유하고 있는 것을 말한다.

스모크(smoke)는 유기물의 불완전연소에 의해 생긴 미립자를 말한다.