증기발생 방식은 유기용제 분석에 유리하다.

흑연로장치는 감도가 좋으므로 생물학적 시료분석에 유리하다.

원자화방법는 불꽃방식, 비불꽃방식, 증기발생 방식이 있다.

광원, 원자화장치, 단색화장치, 검출기, 기록계 등으로 구성되어 있다.