원자들은 높은 온도에서 복사선을 방출하므로 분광학적 방해 영향이 없다.

검량선의 직선성 범위가 넓다.

화학물질에 의한 방해로부터 거의 영향을 받지 않는다.

원자흡광광도계보다 더 좋거나 적어도 같은 정밀도를 갖는다.