비금속을 포함한 대부분의 금속을 ppb 수준까지 측정 할 수 있다.

화학물질의 의한 방해로 부터 거의 영향를 받지 않는다.

적은 시간에 많은 종류의 금속을 분석할 수 있다. 즉 한번의 시료를 주입하여 10-20초내에 30개 이상의 원소를 분석할 수 있다.

시료분해시 화합물의 바탕방출이 없어 분석의 정확도 및 정밀도가 높다.