적은양의 시료를 가지고 한꺼번에 많은 금속을 분석할 수 있다는 것이 가장 큰 장점이다.

사용방법이 복잡하고 넓은 농도범위에서 직선성 확보가 어려운 단점은 있으나 분석의 정확도가 높다.

전형적인 장치구성은 시료주입시스템,플라즈마 토오치,라디오주파수 발생기,파장분리기,검출기, 그리고 컴퓨터자료처리장치이다.

가장 일반적으로 시료를 플라즈마로 보내는 방법은 액체 에어로졸을 직접 주입하는 분무기에 의한 것이다.