온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업에서 화확기상증착시설(CVD)의 공정배출로 배출되는 온실가스의 종류로 …
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온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업에서 화확기상증착시설(CVD)의 공정배출로 배출되는 온실가스의 종류로 거리가 먼 것은?
CF4
CH4
CHF3
C3F8
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