반도체 및 기타 전자부품 제조시설에서 온실가스 공정배출시설이 옳게 짝지어진 것은?
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반도체 및 기타 전자부품 제조시설에서 온실가스 공정배출시설이 옳게 짝지어진 것은?
식각시설, 증착시설
시각시설, 결정성장로
결정성장로, 증착시설
웨이퍼 세정시설, 잉곳 절단 시설
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