광파거리측량기는 인바(Invar)척에 비하여 기복이 많은 지역의 거리관측에 유리하다.

광파거리측량기의 변조주파수의 변화에 따라 생기는 오차는 관측거리에 비례한다.

광파거리측량기의 변조파장이 긴 것은 짧은 것에 비하여 정확도가 높다.

광파거리측량기의 정수는 비교기선장에서 비교측량하여 구한다.