용기의 한 개구부로부터 퍼지가스를 가하고 다른 개구부로부터 대기 또는 스크러비로 혼합가스를 용기에서 축출시키는 공정은?
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용기의 한 개구부로부터 퍼지가스를 가하고 다른 개구부로부터 대기 또는 스크러비로 혼합가스를 용기에서 축출시키는 공정은?
압력퍼지
스위프피지
사이폰퍼지
진공퍼지
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