열전도형 진공계 중 필라멘트의 열전대로 측정하는 열전대 진공계의 측정 범위는?
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열전도형 진공계 중 필라멘트의 열전대로 측정하는 열전대 진공계의 측정 범위는?
10-5 ~ 10-3 torr
10-3 ~ 0.1 torr
10-3 ~ 1 torr
10 ~ 100 torr
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