정전 용량식 액면계는 기상부와 액상부에 초음파 발진기를 두고, 초음파의 시간을 측정하여 액높이를 안다.

크린카식 액면계는 투시식과 반사식이 있다.

차압식 액면계는 초저온의 설비에 많이 사용한다.

부자식 액면계는 장기간 사용시 1년에 한번 정도 교정할 필요가 있다.