시준기와 망원경을 조합한 것으로 미소 각도를 측정하는 광학적 측정기로서 정밀정반의 평면도, 마이크로미터의 측정면 직각도, 평행도, 공작기계 안내면의 진직도, 직각도, 안내면의 평행도, 그 밖에 작은 각도의 변화 차이 흔들림 등의 측정에 사용되는 것은?