진폭이 수 mm이고 진동수가 매분 수백에서 수천의 값을 가진다.

가공열의 발생이 적고 가공 변질층도 작으므로 가공면 특성이 양호하다.

다듬질 표면은 마찰계수가 작고, 내마멸성, 내식성이 우수하다.

다듬질면에 구성인선이 발생한다.