초장기선간섭계(VLBI)는 1,000km∼10,000km 떨어진 지구상의 지점간을 관측할 수 있는 것으로 1m이내의 정도를 유지할 수 있다.

정도에 있어서 광파거리측량기가 전파거리측량기는 보다 우수하다.

광파거리측량기가 전파거리측량기보다 기상조건의 영향이 적다.

전자파거리측량기의 오차는 모두 주파수 및 굴절율에 관한 영향을 많이 받는다.