다음은 건식 에칭법 중 플라즈마 에칭에 대한 설명이다. 틀린 것은?

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화공기사(구)

다음은 건식 에칭법 중 플라즈마 에칭에 대한 설명이다. 틀린 것은?

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다음은 건식 에칭법 중 플라즈마 에칭에 대한 설명이다. 틀린 것은?

라디칼 및 이온 반응종이다.

에칭상태는 등방성이다.

Al도 에칭이 가능하다.

실리콘상의 SiO2 에칭이 불가능하다.

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