다음은 건식 에칭법 중 플라즈마 에칭에 대한 설명이다. 틀린 것은?
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다음은 건식 에칭법 중 플라즈마 에칭에 대한 설명이다. 틀린 것은?
라디칼 및 이온 반응종이다.
에칭상태는 등방성이다.
Al도 에칭이 가능하다.
실리콘상의 SiO2 에칭이 불가능하다.
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