반도체 제조과정중에서 식각공정후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액은?
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반도체 제조과정중에서 식각공정후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액은?
NH4OH + HF + H2O
HCl + HF + H2O
NH4OH + H2O2 + H2O
HCl + H2O2 + H2O
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