박막형성기체 중에서 SiO2 막에 사용되는 기체로 가장 거리가 먼 것은?
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박막형성기체 중에서 SiO2 막에 사용되는 기체로 가장 거리가 먼 것은?
SiH4
O2
N2O
PH3
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