광파측거기는 표준편차가 ±(5mm+5ppm) 이상인 정밀 측거기를 사용한다.

점간거리는 5회 측정하여 그 측정치의 최대치와 최소치의 교차가 평균치의 10만분의 1 이하일 때에는 그 평균치를 측정거리로 한다.

연직각은 각 측점에서 정반(正反)으로 각 2회 관측한다.

연직각의 관측치의 최대치와 최소치의 교차가 40초 이내일 때에는 그 평균치를 연직각으로 한다.