1차 X선에 의해 방사되는 2차 X선의 분광을 이용한다

시료를 분말가압성형법과 용융법으로 제조하여 고체나 액체 시료 모두를 분석할 수 있다.

다원소 분석이 가능하며, 정밀도가 높다.

Mg, Al, Si 등에 대한 최저측정한계와 측정오차가 적어 미량분석에 주로 이용된다.