측정 범위는 원칙적으로 최대 1.5ppm O₃로 한다.

오존과 에틸렌 가스가 반응할 때 생기는 발광도가 오존농도와 비례관계가 있다는 것을 이용한다.

최저 감지 농도는 0.003ppm이다.

방해 물질로는 수분에 대해 약간 영향을 받는다.