다음 세정식 집진장치 중 송풍기를 계통적으로 설치할 수 없는 상황에서 비교적 처리가스량이 적을 때 쓰이며, 사용수량이 다른 세정장치에 비해 10~20배 정도 , 액가스비가 10~50 L/m3 정도인 것은?