알칸(Alkens),알켄(Alkenes) 및 방향족(Aromatics)등이 주 성분인 증기의 총탄화수소(THC)를 측정하는데 적용된다.

분석결과는 교정가스 또는 탄소등가농도로 확산된 부피농도로 기록한다.

성능규격에 적합하거나 그 이상의 성능을 가진 불꽃이 온화분석기(FIA) 또는 비분산적외선분석기(NDIR)를 사용한다.

측정기의 측정범위는 배출허용기준 이하로 하며, 보통기준의 1/2~1배를 적용한다.