극미량원소의 분석이나 휘발성 원소의 정량분석에는 적합하지 않은 편이다.

질산이나 과염소산의 강한 산화력으로 인한 폭발 등의 안전문제 및 플루오르화수소산의 접촉으로 인한 화상 등을 주의해야 한다.

분해 속도가 빠르고 시료 오염이 적은 편이다.

염산과 질산을 매우 많이 사용하며, 휘발성 원소들의 손실 가능성이 있다.