환경대기 중에 부유하고 있는 10μm 이하의 입자상 물질을 여과지 위에 포집하여 질량농도를 구하거나 금속 등의 성분 분석에 이용되며, 흡인펌프, 분립장치, 여과지홀더 및 유량측정부의 구성을 갖는 분석방법은?