부자식 면적유량계에 새겨진 눈금은 20℃ 1기압에서 10-30L/분 범위를 0.5L/분까지 측정할 수 있도록 되어있는 것을 사용한다.

흡인펌프는 연속해서 10일 이상 사용할 수 있고, 진공도가 낮은 것을 사용한다.

여과지 홀더의 팩킹은 불소수지로 만들어진 것을 사용한다.

멤브레인필터와 같이 압력손실이 큰 여과지를 사용하는 진공계는 유량의 눈금값에 대한 보정이 필요하기 때문에 압력계를 부착한다.