교정가스: 미지농도를 희석가스로 사용한다.

영점편차: 영점가스 주입전에 측정기가 반응하는 정도의 차이로 운전기간 동안 지속적으로 교정하여야 한다.

스팬값: 측정기의 측정범위는 배출허용기준 이상으로 하며 보통 기준의 1.2 - 3배를 적용한다.

반응시간: 오염물질농도의 단계변화에 따라 최종값에 도달하는 시간을 말한다.