교정가스 : 미지농도를 희석가스로 사용한다.

영점편차 : 영점가스 주입전에 측정기가 반응하는 정도의 차이로 운전기간 동안에는 지속적으로 교정상태여야 한다.

스팬값 : 측정기의 측정범위는 배출허용기준 이상으로 하며 보통 기준의 3 - 5 배를 적용한다.

반응시간 : 오염물질농도의 단계변화에 따라 최종값의 90%에 도달하는 시간으로 한다.