유량측정부 : 공기흡인부에 붙어있고, 장착 및 탈착이 쉬운 부자식 유량계를 사용

공기흡인부 : 무부하일 때 흡인유량이 약 0.2m³/분 이고, 48시간 이상 연속측정 가능

여과지홀더 : 구성요소 중 팩킹은 연성플라스틱으로 만들어진 것으로 크기는 프레임보다 커야함

포집용 여과지 : 0.1um 되는 입자를 99%이상 포집할 수 있으며 압력손실이 적고 흡수성이 좋아야 하며, 네오프렌수지가 사용됨