시료채취시 시료중에 먼지가 혼입되는 것을 막기 위해 시료 채취관의 적당한 곳에 사불화에틸렌제 등 불소화합물의 영향을 받지 않는 여과재를 넣는다.

시료중의 무기 불소 화합물과 수분이 응축하는 것을 막기 위하여 시료 채취관 및 시료 채취간에서부터 흡수병까지 사이를 100℃ 이상으로 가열해준다.

시료채취관은 배출가스중의 무기 불소화합물에 의해 부식되지 않는 불소수지관, 구리관 등을 사용한다.

시료 채취관에서부터 흡수병까지의 가열부분에 있는 접속부는 갈아 맞춘 것으로 하고, 경질유리관이나 스텐레스관, 사불화에틸렌수지관, 불소고무관, 실리콘고무관 등으로 한다.