정량범위는 5-50㎍/L이며, 정밀도는 3-20% 이다.

기체상 비소는 흡수용액 중에 함유되어 있는 소량의 수산화이온(OH-)에 의해 심각한 간섭을 받으므로 염수소화물발생 원자흡수분광광도법으로 분석한다.

비소는 낮은 분석 파장 (193.7 nm)에서 측정하므로 원자화단계에서 매질성분에 의한 심각한 비특이성 흡수 및 산란에 의한 영향을 받을 수 있다.

비소 및 비소화합물 중 일부 화합물은 휘발성이 있으므로 채취 시료를 전처리하는 동안 비소의 손실 가능성이 있다.