시료채취시 시료중에 먼지가 혼입되는 것을 막기 위해 시료 채취관에 사불화에틸렌제등 불소화합물의 영향을 받지 않는 여과재를 넣는다.

시료중의 무기불소 화합물과 수분이 응축하는 것을 막기 위하여 시료채취관 및 시료채취관에서부터 흡수병까지 사이를 140℃이상으로 가열해 준다.

시료채취관은 배출가스중의 무기 불소화합물에 의해 부식되지 않는 불소수지관, 구리관 등을 사용한다.

불소화합물 분석방법으로는 흡광광도법(질산토륨-네오트린법)과 용량법(란탄-알리자린 콜플렉손법)이 있다.