입자상 비소화합물은 강제 흡인 장치를 사용하여 여과장치에 채취하고, 기체상 비소는 적당한 수용액 중에 흡수 채취하며, 채취된 물질을 산 분해 처리한다.

전처리하여 용액화한 시료 용액 중 비소를 다이에틸다이티오카바민산은 흡수분광법으로 측정하며, 정량범위는 2~10㎍이며, 정밀도는 2~10% 이다.

일부 금속(크롬, 코발트, 구리, 수은, 은 등)이 수소화비소(AsH₃) 생성에 영향을 줄 수 있지만 시료 용액 중의 이들 농도는 간섭을 일으킬 정도로 높지는 않다.

메틸 비소화합물은 pH 10에서 메틸수소화비소(methylarsine)를 생성하여 흡수용액과 착물을 형성하나, 총 비소 측정에는 영향을 미치지 않는다.