시료대기중에 오존과 에틸렌(Ethylene)가스가 반응할 때 생기는 발광도가 오존농도와 비례관계가 있다는 것을 이용하여 오존농도를 측정한다.

이 측정방법이 최저감지농도는 0.05ppm이며 방해물질로는 아황산가스에 대해 약산 영향을 받으나 다른 물질에 대하여는 영향을 받지 않는다.

측정범위는 원칙적으로 0.5ppm 0₃로 한다.

여과지는 시료대기중에 포함되어 있는 먼지를 제거하고 유로의 막힘을 방지하기 위해 사용하며 테플론을 사용하여 오존이 흡착되는 것을 방지하여 측정초아의 발생을 줄여야 한다.