처리용량이 크며, 분진의 크기가 0.1-0.9㎛인 것에 대해서도 높은 집진 효율을 가지며, 습식또는 건식으로도 제진할 수 있고, 압력손실이 매우 적고, 유지비도 적게 소요될 뿐 아니라 고온의 가스도 처리 가능한 집진장치는?