흡광차분광법의 분석장치는 분석기와 광원부로 나누어지며, 분석기 내부는 분광기, 샘풀채취부, 검지부, 분석부 통신부 등으로 구성된다.

광원부는 발 ㆍ 수광부 및 광케이블로 구성되며, 외부 환경에 영향이 없는 구조로 구성된다.

발광부의 광원은 제논램프를 사용하며, 제논램프는 180-2850nm의 파장대역을 갖는다.

일반적으로 빛을 조사하는 발광부와 5-10m 정도 떨어진 곳에 설치되는 수광부 사이에 형성되는 빛의 이동경로를 통과하는 가스를 실시간으로 분석한다.