스팬값: 측정기의 측정범위는 배출허용기준 이상으로 하며, 보통 기준의 1.2 - 3배를 적용한다.

교정가스: 농도를 알고 있는 희석가스를 사용한다.

영점편차: 영점가스 주입 전·후에 측정기가 반응하는 정도의 차이로 운전기간 동안에는 점검, 수리 또는 교정이 없는 상태이어야 한다.

교정편차: 중간농도의 교정가스 주입 전·후에 측정기가 반응하는 정도의 차이로 운전기간 동안에 점검, 수리 또는 교정이 가능하여야 한다.