이 측정방법의 최저감지농도는 0.003ppm이며 방해물질로는 수분에 대해 약간 영향을 받으나 다른 물질에 대하여는 영향을 거의 받지 않는다.

시료대기중에 오존과 아세틸렌(Acethylene)가스가 반응할 때 생기는 발광도가 오존농도와 비례관계가 있다는 것을 이용하여 오존농도를 측정한다.

여과지는 시료대기중에 포함되어 있는 먼지 제거와 유로 막힘 방지를 위해 사용하며, 테플론을 사용하여 오존 흡착을 방지하여 측정오차의 발생을 줄여야 한다.

제로가스는 고압용기에 넣은 고순도 공기 또는 활성탄이나 소다회 등을 통과시켜 불순물을 제거시킨 공기를 사용한다.