흡인펌프는 연속해서 10일이상 사용할 수 있고, 진공도가 낮은 것을 사용한다.

여과지홀더 내의 팩킹(Packing)은 불소수지로 만들어진 것을 사용한다.

부자식 면적유량계에 새겨진 눈금은 20℃ 1기압에서 10~30L/분 범위를 0.5L/분까지 측정할 수 있도록 되어 있는 것을 사용한다.

입자상 물질포집용 여과지는 통상 유리섬유제여과지의 구멍 크기가 1~3㎛되는 니트로셀룰로즈제 멤브레인 필터 또는 석영섬유제여과지 등을 사용한다.