광원 : 중수소방전관 또는 중압수은등이 사용된다.

검출기: 자외선 및 가시광선에 감도가 좋은 광음극방전관이 이용된다.

분광기: 프리즘 또는 회절격자분광기를 이용하여 자외선영역 또는 가시광선 영역의 단색광을 얻는데 사용된다.

시료셀: 시료셀은 200-500mm의 길이로 시료가스가 연속적으로 통과할 수 있는 구조로 되어 있으며, 셀의 창은 석영판과 같이 자외선 및 가시광선이 투과할 수 있는 재질로 되어 있어야 한다.