공기 중에 분진의 미립자 제거뿐만 아니라 세균, 곰팡이, 바이러스 등 까지 극소로 제한시킨 시설로서 병원의 수술실, 식품가공, 제액 공장 등의 특정한 공정이나 유전자 관련 산업 등에 응용되는 설비는?