반 페이지나 한 페이지 정도의 크기로 세분된 모듈을 작성할 때 사용한다.

DFD에서는 한 개의 처리공정이 그 대상이 되지만, 한 공정의 기능이 두 가지 이상이거나 더 세분화함으로써 소단위명세서를 이해하기가 쉬워진다면 더욱 세분화될 수도 있다.

소단위명세서를 작성하는 도구에는 서술문장, 의사결정나무, 의사결정표, 표, 그래프 등이 있다.

소단위명세서는 구조적 언어를 사용하지 않고, 자연어를 사용하여 이해하기 쉽고 엄밀하게 기술한다.