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전극 재료를 제조하기 위해 전극 재료를 선택하고자 할 때의 조건으로 틀린 것은?
비저항이 클 것 Si02와 밀착성이 우수할 것 산화 분위기에서 내식성이 클 것 금속규화물의 용융점이 웨이퍼 처리 온도보다 높을 것
기출넷
