핵의 과잉에너지가 X선으로 방출된다. 궤도전자가 방출된 후 특성 X선이 방출된다. 저에너지 및 중원소에서 보다 높은 확률을 가진다. 안정한 핵이 궤도전자를 포획한 후 특성 X선을 방출한다.