핵의 과잉에너지가 β선으로 방출된다. 궤도전자가 방출된 후 특성 X선이 방출된다. γ선이 궤도전자와 충돌로 에너지가 약해진다. 불안정한 핵이 궤도전자를 포획한 후 특성 X선을 방출한다.