TEM에서는 다양한 회절패턴을 얻을 수 있다. 보기는 어떤 패턴에 관한 설명인가? TEM의 회절모드에서 발생하는 패턴으로 밝고 어두운 한 쌍의 선들이 교차하고 있는 모양이다. 시료의 두께가 얇으면 생성되지 않다가 시료의 두께가 점차 두꺼워지면 생성된다. 입사된 전자빔의 비탄성 산란에 의해 형성되는 회절이다.